采用宽带光源的干涉原理，光源照射的光由分光镜分 为两束光，一束入射到参考镜，另外一束照射到物体上,两束光反射合束时发生干涉，由光学接收器接收干 涉光强。上下驱动内部光学单元时，接收到不同高度的 干涉图案，通过算法处理得到被测物体表面的高度值。
| 产品型号 | WIL102 | WIL110 |
| 工作距离(mm) | 3-13 | 3-13 |
| 视场大小(mm) | 2.1X1.5 | 10x7 |
| 重复精度 | 0.1 | 0.1 |
| 测量精度（um) | 0.2 | 0.2 |
| 横向分辨率(um) | 2.78 | 14.1 |
| 最快扫描速度（s） | 1 | |
| 输入I/O （s） | 2 | |
| 输出I/O | 2 | |
| 外形尺寸(mm) | 296*160*91 | 296*160*91 |
| 重量(kg) | 4 | 4 |
| 数据接口 | USB3.0,百兆网口 | |
| 输入电压(V) | DC 24 | |
| 光源 | 红色LED | |
